集成度，是指圖形中最小線條寬度，積體電路的集成度是指單塊晶片上所容納的元件數目，集成度越高，所容納的元件數目越多，為此對傳統的光刻方法進行了很多改進以滿足解析度的要求，增加積體電路的集成度。
工程分析
集成度，是指圖形中最小線條寬度，積體電路的集成度是指單塊晶片上所容納的元件數目，集成度越高，所容納的元件數目越多，為此對傳統的光刻方法進行了很多改進以滿足解析度的要求，增加積體電路的集成度。